AIP®-S series

Bei der AIP®-S-Serie handelt es sich um Batchsysteme, welche das Arc Ion Plating (AIP®)-Verfahren nutzen und aufgrund ihrer Flexibilität für eine Vielzahl unterschiedlicher Beschichtungsanwendungen eingesetzt werden können. Dabei erzielen sie stets glatte Oberflächen bei gleichzeitig hoher Abscheiderate.

Eigenschaften

  1. Tröpfchen, ein wesentlicher Fehler der kathodischen Arc-Beschichtung, werden durch AIP® erfolgreich minimiert
  2. Dicke & dichte Filme mit extrem glatter Oberfläche
  3. Hohe Abscheiderate durch hohe Energiedichte & hohe Ionisierung
  4. Mehrlagige Schichten & Multiprozessschichten werden ermöglicht

Superfein-Kathode

Plasma-Bereich
erweitert durch SFC




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Fein-Kathode

Plasmaunterstützte
Kathode

Normale Kathode

Konventionelle
Kathode

Aufstellungskriterien der Maschinen:

Produktionsumfang Mittelserienfertigung Großserienfertigung
Empfohlener
Ladebereich
φ 450 mm
x H 500 mm
oder
φ 130 mm
x H 500 mm
x 6 Achsen
φ 700mm
x H 700mm
oder
φ 130mm
x H 700mm
x 12 Achsen
Arc-Verdampferquelle 6 bis 12 8 bis 16
Substrattisch Sechsachsiger Rotationstisch mit Planetensystem Zwölfachsiger Rotationstisch mit Planetensystem

Wirkung der Feinkathode


Material: Hartmetall, Werkstück: AISI 316, Schnittgeschwindigkeit: 270 [m/min],
Kühlmittel: Nass
Material: Hartmetall, Werkstück: AISI A48-94a, Schnittgeschwindigkeit: 220 [m/min],
Kühlmittel: Trocken

Neue Technologien

Unsere neueste Entwicklung ist die SFC (Super Fine Cathode), eine neu entwickelte Kathode, welche das magnetische Feld einstellen kann.
  • Die Eigenspannung ist durch das Substrat-Bias einstellbar und deckt den gesamten Bereich der vorhandenen AIP®-Kathoden ab.
  • Dicke Schichten (bis 20 μm) mit geringer Eigenspannung sind möglich
  • Die bolzenlose Struktur ermöglicht das Ändern von Targets mit nur einem Tastendruck
  • Die Produktivität wird durch eine Verbesserung der Ertragsrate des Targets erhöht (20% mehr)

Schichtdickenverteilung

 

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Aktuell / News

PSE 2020 - in Garmisch - Partenkirchen
17th International Conference on Plasma Surface Engineering

Wir stellen aus -
vom 06.09.-11.09.2020

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