Coating Equipments

AIPocket™



Mit der PVD-Beschichtungsanlage AIPocket™ integriert KOBELCO seine branchenführende AIP®-Technologie in ein kompaktes, vielseitiges System zum Beschichten von Inserts, Schaftwerkzeugen, Wälzfräsern, Formen und kleineren Teilen für die Automobilindustrie, Luft- und Raumfahrt sowie Medizintechnik.
Ein flexibles, benutzerfreundliches System, das KOBELCOs neueste Kathodentechnologie verwendet und die Produktivität durch kürzere Zykluszeiten und einfach zu wechselnde Targets maximiert. Die Rezepte sind wiederholbar und anpassbar und erzeugen immer wieder hochwertige Beschichtungen.

Spezifikationen

Abmessungen: B 1.400 x L 1.900 x H 2.200 mm
Beschichtungszone: φ 360 × H 300 mm
Produktivität : Typische Batch-Zykluszeit: 3 Stunden
Arc-Verdampferquelle: 2 Flansche

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AIP®-S series

Bei der AIP®-S-Serie handelt es sich um Batchsysteme, welche das Arc Ion Plating (AIP®)-Verfahren nutzen und aufgrund ihrer Flexibilität für eine Vielzahl unterschiedlicher Beschichtungsanwendungen eingesetzt werden können. Dabei erzielen sie stets glatte Oberflächen bei gleichzeitig hoher Abscheiderate.

Eigenschaften

  1. Tröpfchen, ein wesentlicher Fehler der kathodischen Arc-Beschichtung, werden durch AIP® erfolgreich minimiert
  2. Dicke & dichte Filme mit extrem glatter Oberfläche
  3. Hohe Abscheiderate durch hohe Energiedichte & hohe Ionisierung
  4. Mehrlagige Schichten & Multiprozessschichten werden ermöglicht

Superfein-Kathode

Plasma-Bereich
erweitert durch SFC




Mehr Infos

Fein-Kathode

Plasmaunterstützte
Kathode

Normale Kathode

Konventionelle
Kathode

Aufstellungskriterien der Maschinen:

Produktionsumfang Mittelserienfertigung Großserienfertigung
Empfohlener
Ladebereich
φ 450 mm
x H 500 mm
oder
φ 130 mm
x H 500 mm
x 6 Achsen
φ 700mm
x H 700mm
oder
φ 130mm
x H 700mm
x 12 Achsen
Arc-Verdampferquelle 6 bis 12 8 bis 16
Substrattisch Sechsachsiger Rotationstisch mit Planetensystem Zwölfachsiger Rotationstisch mit Planetensystem

Wirkung der Feinkathode


Material: Hartmetall, Werkstück: AISI 316, Schnittgeschwindigkeit: 270 [m/min],
Kühlmittel: Nass
Material: Hartmetall, Werkstück: AISI A48-94a, Schnittgeschwindigkeit: 220 [m/min],
Kühlmittel: Trocken

Neue Technologien

Unsere neueste Entwicklung ist die SFC (Super Fine Cathode), eine neu entwickelte Kathode, welche das magnetische Feld einstellen kann.
  • Die Eigenspannung ist durch das Substrat-Bias einstellbar und deckt den gesamten Bereich der vorhandenen AIP®-Kathoden ab.
  • Dicke Schichten (bis 20 μm) mit geringer Eigenspannung sind möglich
  • Die bolzenlose Struktur ermöglicht das Ändern von Targets mit nur einem Tastendruck
  • Die Produktivität wird durch eine Verbesserung der Ertragsrate des Targets erhöht (20% mehr)

Schichtdickenverteilung

 

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AIP® Systems for Special Use

KOBELCO bietet AIP® -Beschichtungssysteme für die unterschiedlichsten Zwecke an.

AIP® In-Line System

Das AIP® In-Line-System ist für die Großserienfertigung geeignet. Dieses System erreicht durch das Evakuieren, Vorheizen, Beschichten und Kühlen in getrennten Kammern eine effiziente Produktion.

Eigenschaften:
  • Eine hochmoderne vollautomatische Steuerung kann mit den vor- und nachgelagerten Prozessen verzahnt werden.
  • Die Kontrolle der AIP®-Betriebsdaten per PC ermöglicht eine hocheffiziente Betriebsführung.

Die Kammer-Modulbauweise ermöglicht flexible Kammerkombinationen, wie z.B. 5-Kammer- oder 6-Kammer-Systeme je nach Beschichtungsbedarf.



AIP® System für Kolbenringe

AIP®-G Series

KOBELCO bietet die AIP®-Beschichtungssysteme für die unterschiedlichsten Zwecke an. So wurde die AIP®-G Serie, welche über KOBELCOs neu entwickelte Superfeinkathode verfügt, speziell für die Beschichtung von Kolbenringen entwickelt.

  • Überdurchschnittliche Gleichmäßigkeit der Schichtdicke
  • Effizienter Einsatz der Targets
  • Geeignet zur Herstellung von dicken Schichten

 

 

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UBMS® Series for DLC

 

UnBalanced Magnetron Sputtering

Bei der UBMS®-Serie handelt es sich um Batchsysteme, welche das Unbalanced Magnetron Sputtering-Verfahren anwenden. Da diese Systeme feine Schichten und Schichten mit hoher Dichte erzeugen können, eignen sie sich für Schmierfilmbeschichtungen wie DLC und Molybdändisulfid.

 

Eigenschaften von UBMS®

  1. Die Plasmadichte wird in Substratnähe durch ein unausgeglichenes Magnetfeld erhöht.
  2. Maximierung des ionenunterstützenden Effekts.
  3. Kontrolle der Schichteigenschaften: Zusammensetzung, Haftung, Kristallisation, Oberflächenbeschaffenheit.
Argon-Ionen werden im Plasma aktiviert und treffen auf das Target.   Die aktivierten Argon-Ionen sputtern Metallatome aus dem Target.   Die gesputterten Metallionen ermöglichen die Filmabscheidung.



DLC-Beschichtungen von KOBELCO sind ausgezeichnet in Verschleißfestigkeit, geringer Reibung und Zähigkeit durch einen Nano-Mehrschichtaufbau.

Ausgewogene DLC-Beschichtung

Aufstellungskriterien der Maschinen:

Produktionsumfang Mittelserienfertigung Großserienfertigung
Empfohlener
Ladebereich
φ 450 mm
x H 400 mm
oder
φ 130 mm
x H 400 mm
x 6 Achsen
φ 700 mm
x H 800 mm
oder
φ 130 mm
x H 800 mm
x 12 Achsen
Arc-Verdampferquelle 4 7
Substrattisch Sechsachsiger Rotationstisch mit Planetensystem Zwölfachsiger Rotationstisch mit Planetensystem

Eigenschaften von DLC durch UBMS®

DLC (Diamond-like Carbon) findet aufgrund seiner hohen mechanischen Härte, chemischen Beständigkeit und seines geringen Abriebverhaltens weit verbreitete Anwendung in Automobilteilen, mechanischen Komponenten, Gewindeschneidern, Formen, etc.
KOBELCO kann durch Anpassung der Beschichtungsparameter für jede Kundenanwendung optimiertes DLC anbieten.

Anwendungen von DLC und mehr

  • Automobilteile (Motorteile/Kraftstoffpumpenteile)
  • Mechanische Teile (Kugellager, Kugelumlaufspindel, Hydraulikpumpenteile)
  • Schneidewerkzeuge für Aluminium
  • Umformwerkzeuge für Aluminiumdosen
  • Schneidwerkzeuge für SUS/Kupferrohr
  • Stanzen für SUS-Platten/Aluminiumbleche

und mehr

Fortschrittliches DLC durch UBMS®

  • DLC mit hoher Adhäsion
    • Ionenunterstützung durch UBM
    • Optimierte Zwischenschicht
  • Härteregelung und Mehrschicht-DLC
    • Ionenunterstützung durch UBM
  • Metalldotierter DLC
    • Co-Sputter mit Metalltarget und Kohlenstoff
  • Wasserstoffgehaltskontrolliertes DLC
    • Feste Kohlenstoffquelle
  • Hybridbeschichtung mit AIP

und mehr

Wirkung von KOBELCO DLC

BELCOATTM  durch UBMS®

Name Typ Härte
(Hv)
Dicke
(μm)
Eigenschaften und typische Anwendungsmöglichkeiten
BELCOAT
B
Standard 1.500
bis
2.500
0,5
bis
5
Gleichgewicht zwischen Verschleißfestigkeit, Schmierfähigkeit und Haftung. Verbreitete mechanische Komponenten.
BELCOAT
HB
Hoher
Härtegrad
2.500
bis
3.500
0,1
bis
0,2
Fokus auf Verschleißfestigkeit. Stanzwerkzeuge für KFZ-Komponenten (für Nichteisenmetalle, Edelstahl)
BELCOAT
UB
Extremer
Härtegrad
3.500
bis
4.000
0,1
bis
0,2
Fokus auf Verschleißfestigkeit unter hoher Belastung. KFZ-Komponenten für den Renneinsatz, Schneidwerkzeuge (Nichteisenmetalle).
BELCOAT
NB
Nano-Multi-
Schicht
1.500
bis
2.500
0,1
bis
0,15
Gleichgewicht zwischen Verschleißfestigkeit und Schmierzähigkeit. Lager und Stanzwerkzeuge.
BELCOAT
MB
Metalldotiert 1.000
bis
2.000
0,15
bis
0,25
Eigenschaftsänderungen durch Metalldotierung, Entlastung der Beschichtungsspannung. KFZ-Komponenten, Kunststoffspritzgussformen.

 

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Hybrid System (AIP® + UBMS®)

KOBELCOs Hybrid System vereint AIP®-Kathoden und UBMS®-Kathoden in einer Kammer und kann diese abwechselnd oder zusammen betreiben. Die Abscheidung von komplexeren und hochwertigeren Beschichtungen wird ermöglicht.
Die HYBRID-Anlage kann die Möglichkeiten der Forschung und Entwicklung und/oder Produktion für anspruchsvollere Filme in verschiedenen Industriebereichen erweitern.

Typische Beschichtung Anwendungsmöglichkeiten
- Multikomponenten-Beschichtung
- Nano-Mehrschicht-Beschichtung
- TiCrAlN/WN, CrN/BCN etc.
- Schneidwerkzeuge
- Formen und Werkzeuge
- KFZ-Komponenten, etc.


Drilling Test

 

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AIPocket™

AIPocket™

Mit der PVD-Beschichtungsanlage AIPocket™ integriert KOBELCO seine branchenführende AIP ® -Technologie in ein kompaktes, vielseitiges System zum Beschichten von Inserts, Schaftwerkzeugen,...

AIP<sup>®</sup>-S series

AIP®-S series

Bei der AIP ® -S-Serie handelt es sich um Batchsysteme, welche das Arc Ion Plating (AIP ® )-Verfahren nutzen und aufgrund ihrer Flexibilität für eine Vielzahl unterschiedlicher...

AIP<sup>®</sup> Systems for Special Use

AIP® Systems for Special Use

KOBELCO bietet AIP ® -Beschichtungssysteme für die unterschiedlichsten Zwecke an. AIP ® In-Line System Das AIP ® In-Line-System ist für die Großserienfertigung geeignet. Dieses System...

UBMS<sup>®</sup> Series for DLC

UBMS® Series for DLC

  UnBalanced Magnetron Sputtering Bei der UBMS ® -Serie handelt es sich um Batchsysteme, welche das Unbalanced Magnetron Sputtering-Verfahren anwenden. Da diese Systeme feine Schichten und...

Hybrid System (AIP<sup>®</sup> + UBMS<sup>®</sup>)

Hybrid System (AIP® + UBMS®)

KOBELCOs Hybrid System vereint AIP ® -Kathoden und UBMS ® -Kathoden in einer Kammer und kann diese abwechselnd oder zusammen betreiben. Die Abscheidung von komplexeren und hochwertigeren Beschichtungen wird...

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