Coating Equipments

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Bei der AIP^®-S-Serie handelt es sich um Batchsysteme, welche das Arc Ion Plating (AIP^®)-Verfahren nutzen und aufgrund ihrer Flexibilität für eine Vielzahl unterschiedlicher Beschichtungsanwendungen eingesetzt werden können. Dabei erzielen sie stets glatte Oberflächen bei gleichzeitig hoher Abscheiderate.

• Eigenschaften
• Aufstellungskriterien der Maschinen
• Wirkung der Feinkathode

Eigenschaften

1. Tröpfchen, ein wesentlicher Fehler der kathodischen Arc-Beschichtung, werden durch AIP^® erfolgreich minimiert
2. Dicke & dichte Filme mit extrem glatter Oberfläche
3. Hohe Abscheiderate durch hohe Energiedichte & hohe Ionisierung
4. Mehrlagige Schichten & Multiprozessschichten werden ermöglicht

Superfein-Kathode Plasma-Bereich erweitert durch SFC Mehr Infos

Fein-Kathode Plasmaunterstützte Kathode

Normale Kathode Konventionelle Kathode

Aufstellungskriterien der Maschinen:

Produktionsumfang	Mittelserienfertigung	Großserienfertigung
Empfohlener Ladebereich	φ 450 mm x H 500 mm oder φ 130 mm x H 500 mm x 6 Achsen	φ 700mm x H 700mm oder φ 130mm x H 700mm x 12 Achsen
Arc-Verdampferquelle	6 bis 12	8 bis 16
Substrattisch	Sechsachsiger Rotationstisch mit Planetensystem	Zwölfachsiger Rotationstisch mit Planetensystem

Wirkung der Feinkathode

Material: Hartmetall, Werkstück: AISI 316, Schnittgeschwindigkeit: 270 [m/min],
Kühlmittel: Nass

Material: Hartmetall, Werkstück: AISI A48-94a, Schnittgeschwindigkeit: 220 [m/min],
Kühlmittel: Trocken

Neue Technologien

Unsere neueste Entwicklung ist die SFC (Super Fine Cathode), eine neu entwickelte Kathode, welche das magnetische Feld einstellen kann.

• Die Eigenspannung ist durch das Substrat-Bias einstellbar und deckt den gesamten Bereich der vorhandenen AIP^®-Kathoden ab.
• Dicke Schichten (bis 20 μm) mit geringer Eigenspannung sind möglich
• Die bolzenlose Struktur ermöglicht das Ändern von Targets mit nur einem Tastendruck
• Die Produktivität wird durch eine Verbesserung der Ertragsrate des Targets erhöht (20% mehr)

Schichtdickenverteilung

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KOBELCO bietet AIP^® -Beschichtungssysteme für die unterschiedlichsten Zwecke an.

AIP^® In-Line System

Das AIP^® In-Line-System ist für die Großserienfertigung geeignet. Dieses System erreicht durch das Evakuieren, Vorheizen, Beschichten und Kühlen in getrennten Kammern eine effiziente Produktion.

Eigenschaften:

• Eine hochmoderne vollautomatische Steuerung kann mit den vor- und nachgelagerten Prozessen verzahnt werden.
• Die Kontrolle der AIP^®-Betriebsdaten per PC ermöglicht eine hocheffiziente Betriebsführung.

Die Kammer-Modulbauweise ermöglicht flexible Kammerkombinationen, wie z.B. 5-Kammer- oder 6-Kammer-Systeme je nach Beschichtungsbedarf.

AIP^® System für Kolbenringe

AIP^®-G Series

KOBELCO bietet die AIP^®-Beschichtungssysteme für die unterschiedlichsten Zwecke an. So wurde die AIP^®-G Serie, welche über KOBELCOs neu entwickelte Superfeinkathode verfügt, speziell für die Beschichtung von Kolbenringen entwickelt.

• Überdurchschnittliche Gleichmäßigkeit der Schichtdicke
• Effizienter Einsatz der Targets
• Geeignet zur Herstellung von dicken Schichten

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• Eigenschaften von UBMS^®
• Maschinenaufstellung
• DLC durch UBMS^®
• BELCOAT™ durch UBMS^®

Eigenschaften von UBMS^®

1. Die Plasmadichte wird in Substratnähe durch ein unausgeglichenes Magnetfeld erhöht.
2. Maximierung des ionenunterstützenden Effekts.
3. Kontrolle der Schichteigenschaften: Zusammensetzung, Haftung, Kristallisation, Oberflächenbeschaffenheit.

Argon-Ionen werden im Plasma aktiviert und treffen auf das Target.

Die aktivierten Argon-Ionen sputtern Metallatome aus dem Target.

Die gesputterten Metallionen ermöglichen die Filmabscheidung.

DLC-Beschichtungen von KOBELCO sind ausgezeichnet in Verschleißfestigkeit, geringer Reibung und Zähigkeit durch einen Nano-Mehrschichtaufbau.

Ausgewogene DLC-Beschichtung

Aufstellungskriterien der Maschinen:

Produktionsumfang	Mittelserienfertigung	Großserienfertigung
Empfohlener Ladebereich	φ 450 mm x H 400 mm oder φ 130 mm x H 400 mm x 6 Achsen	φ 700 mm x H 800 mm oder φ 130 mm x H 800 mm x 12 Achsen
Arc-Verdampferquelle	4	7
Substrattisch	Sechsachsiger Rotationstisch mit Planetensystem	Zwölfachsiger Rotationstisch mit Planetensystem

Eigenschaften von DLC durch UBMS^®

DLC (Diamond-like Carbon) findet aufgrund seiner hohen mechanischen Härte, chemischen Beständigkeit und seines geringen Abriebverhaltens weit verbreitete Anwendung in Automobilteilen, mechanischen Komponenten, Gewindeschneidern, Formen, etc.
KOBELCO kann durch Anpassung der Beschichtungsparameter für jede Kundenanwendung optimiertes DLC anbieten.

Anwendungen von DLC und mehr

• Automobilteile (Motorteile/Kraftstoffpumpenteile)
• Mechanische Teile (Kugellager, Kugelumlaufspindel, Hydraulikpumpenteile)
• Schneidewerkzeuge für Aluminium
• Umformwerkzeuge für Aluminiumdosen
• Schneidwerkzeuge für SUS/Kupferrohr
• Stanzen für SUS-Platten/Aluminiumbleche

und mehr

Fortschrittliches DLC durch UBMS^®

• DLC mit hoher Adhäsion
  • Ionenunterstützung durch UBM
  • Optimierte Zwischenschicht
• Härteregelung und Mehrschicht-DLC
  • Ionenunterstützung durch UBM
• Metalldotierter DLC
  • Co-Sputter mit Metalltarget und Kohlenstoff
• Wasserstoffgehaltskontrolliertes DLC
  • Feste Kohlenstoffquelle
• Hybridbeschichtung mit AIP

und mehr

Wirkung von KOBELCO DLC

BELCOAT^TM  durch UBMS^®

Name	Typ	Härte (Hv)	Dicke (μm)	Eigenschaften und typische Anwendungsmöglichkeiten
BELCOAT B	Standard	1.500 bis 2.500	0,5 bis 5	Gleichgewicht zwischen Verschleißfestigkeit, Schmierfähigkeit und Haftung. Verbreitete mechanische Komponenten.
BELCOAT HB	Hoher Härtegrad	2.500 bis 3.500	0,1 bis 0,2	Fokus auf Verschleißfestigkeit. Stanzwerkzeuge für KFZ-Komponenten (für Nichteisenmetalle, Edelstahl)
BELCOAT UB	Extremer Härtegrad	3.500 bis 4.000	0,1 bis 0,2	Fokus auf Verschleißfestigkeit unter hoher Belastung. KFZ-Komponenten für den Renneinsatz, Schneidwerkzeuge (Nichteisenmetalle).
BELCOAT NB	Nano-Multi- Schicht	1.500 bis 2.500	0,1 bis 0,15	Gleichgewicht zwischen Verschleißfestigkeit und Schmierzähigkeit. Lager und Stanzwerkzeuge.
BELCOAT MB	Metalldotiert	1.000 bis 2.000	0,15 bis 0,25	Eigenschaftsänderungen durch Metalldotierung, Entlastung der Beschichtungsspannung. KFZ-Komponenten, Kunststoffspritzgussformen.

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KOBELCOs Hybrid System vereint AIP^®-Kathoden und UBMS^®-Kathoden in einer Kammer und kann diese abwechselnd oder zusammen betreiben. Die Abscheidung von komplexeren und hochwertigeren Beschichtungen wird ermöglicht.
Die HYBRID-Anlage kann die Möglichkeiten der Forschung und Entwicklung und/oder Produktion für anspruchsvollere Filme in verschiedenen Industriebereichen erweitern.

• Bohrprüfung

Drilling Test

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